含氟廢氣治理方法目前主要有三類：稀釋法、吸收法(濕法)、吸附法(干法)。
稀釋法就是補充新鮮空氣后將含氟廢氣向高空進行排放，這其實是將廢氣從一處轉向到另一處，而不是根本的治理手段，也是被國家環保局不認可的一種方案，中環化工小編不多做介紹。
吸附法基于固體物質顆粒間的吸附原理，氟化氫分子半徑較小，沸點較高(19.5℃)，電負性較大，所以易被吸附。在工業含氟廢氣處理中，主要采用工業氧化鋁作為粉末吸附劑，具有顆粒較細，空隙多，比表面積大，吸附性*等優勢，在吸附過程中以化學吸附為主，物理吸附為次，在氧化鋁表面上生成表面化合物-氟化鋁。工業上含氟廢氣處理的吸附法有輸送床吸附法與沸騰床吸附法。
輸送床吸附法將鋁電解槽的含氟化氫煙氣通過管道進入輸送床后與加入的氧化鋁粉末混合，在管道的高速氣流帶動下充分接觸，在很短時間內完成吸附過程。吸附后含氟氧化鋁通過旋風除塵器被分離出來，在分離中進一步完成吸附，經過袋式過濾器分離干凈；分離出來的氧化鋁即可以送入加料器進行循環吸附，也可以返回鋁電解槽。輸送床吸附法流程簡單，運行可靠，便于管理，凈化效率可達95-98%，總壓降約為2.5-3kPa。
沸騰床吸附法將鋁電解槽含氟煙氣由沸騰床底部進入分配室，氣體以一定的速度通過床面上的氧化鋁層，氧化鋁形成流態化的沸騰層，并與煙氣中的氟化氫混合、接觸而完成吸附過程。氣體攜帶的氧化鋁被沸騰床上部的袋式過濾器過濾下來，被凈化的煙氣由風機排出，床上的氧化鋁由床的一端加入，由另一端排出，即可以進行循環吸附。沸騰床吸附凈化法效率高，可達98%；壓降較小，約為1.3kPa，設備緊湊，但是安裝調試及維修管理復雜。
對于含氟廢氣處理的工藝選擇要根據實際情況。濕法吸收法是現今使用多的一種含氟廢氣處理工藝。
